如何对无尘室微粒子浓度控制方案

发布日期:2020-05-13 14:22 浏览次数:

如何对无尘室微粒子浓度控制(control)方案
10-100万级无尘室,其空气洁净室必须得到有效控制(control)才能发挥洁净室的作用,但是如何控制无尘室内微粒子浓度的控制呢?这是洁净室工程师思考的问题。通常来讲,无尘室的浮游微粒子浓度,若用高性能的送风系统即可达到零水平,然而实际的生产(Produce)现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,故造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘室内如何控制(control)微粒子浓度呢?
1、不携入:人、机、料进无尘室不携入微粒子
(1)进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等, 再通过风淋室吹淋,高速干净的气流可除去附在衣服表面的粒子,吹淋完毕才能进入无尘室。洁净度检测洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定实行。净化车间检测换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。
(2)机器、材料进无尘室前,应尽可能(maybe)在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,经货淋室吹淋或风淋传递(transmission)窗吹淋后才能进入无尘室。静压差由于层流流量计适用于层流流动状态,从流体力学的角度分析是适用于低雷诺数下的流动。流 体在流动过程中粘性力占主导地位。 由于粘性力的影响,流体在流动过 程中将造成压力能的损耗,使压力 下降。在稳定流动过程中,流体的压力损失与流体粘度及流量之间存在固定的关系。
(3)无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
2、不发生:无尘室内动态环境下机、料的不发生控制(control);
在控制(control)最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生 的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策:
(1)减少接触剥离发尘的动作形态(pattern);
(2)采用磨耗发尘小的材质;
(3)采用发尘小的润滑油;
3、不储备:
现实中人和物品的频繁(frequency)出入及机台的掣动(动态),无尘室要想达到动态洁净级别,因此“不储备”技术快速地在过滤器(作用:过滤杂质等)中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电(是一种处于静止状态的电荷)吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的危险性。
控制(control)气流可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电(是一种处于静止状态的电荷)吸附而引起的微粒附着,通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电,则采用带电程度很少的搬送形态(pattern)及接触部品材料,并藉由除电装置进 行除电。
4、排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策如下:
由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源(说明:向自然界提供能量转化的物质)消耗(consume)。所以无法说是绝对理想的对策。因此尽可能(maybe)地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。
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